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方案概述

隨著激光技術的不斷發展和激光技術深入半導體產業,激光在半導體領域的多個生產工序中得到了非常好的應用效果。通過激光標記,精密的半導體芯片標記不再是困難的問題。對激光切割半導體晶圓,激光切割半導體晶圓,對傳統接觸式刀片切割的缺陷進行了改造,解決了刀片切割容易崩邊、切割效率低、表面結構容易破壞等問題。在集成電路工藝線寬越來越小的工藝要求下,LOW-K材料(K是介電常數,即低介電常數材料)越來越多地用于集成IC。鑒于LOW-K層傳統工藝難以加工,因此引入激光開槽工藝,利用激光將切割路徑中去除LOW-K層。目前,12英寸硅晶圓被廣泛應用于半導體集成電路領域,隨著晶圓越來越薄,將薄晶圓鍵合于承載晶圓片上流片后通過拆 鍵和將兩部分分開,激光拆鍵以其高效率無耗材等諸多優勢成為關注熱點。此外,激光在鉆孔、劃線、退火等工序中取得了良好的應用成果。
國玉科技的激光自動化設備非常多元化,已經提供不同類型的激光設備應用到半導體制程中,包括MiniLED切割、晶圓分選、芯片檢測以及圖案化柔性電路板、IC基板和半導體器件加工應用等。

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